半導体製造装置・プラズマエッチング装置/枚葉成膜装置開発
仙台 / 産業事業部仙台システム部
【業種/業態】
電子/電気機器
【業務】
プラズマエッチング装置 、枚葉成膜装置のソフトウェア開発
システム概要
- 半導体製造装置の一つである、プラズマエッチング装置の装置本体を制御するソフトウェア。
- シリコンウェーハの状態管理、装置内搬送経路の制御、工程スケジューリング機能の制御を行っている。
- また、装置ソフト開発以外では、製品受注業務のサポートシステムや、海外グループ法人からの問い合わせ窓口サポートシステムなどを開発している。
| 開発期間 | 2015年～現在 |
|---|---|
| 工数（人月） | 20名体制 |
| 工程 | 装置顧客（半導体製造メーカ各社）の要求仕様整理から、エンドユーザー出荷までの全工程 および出荷後装置の改造依頼対応 |
| 開発環境 | 装置開発：C言語がメイン ※派生でC#.NET |